光學(xué)視頻接觸角測(cè)量?jī)x在半導(dǎo)體晶圓玻璃面板的應(yīng)用

光學(xué)視頻接觸角測(cè)量?jī)x在半導(dǎo)體晶圓玻璃面板的應(yīng)用

水滴角測(cè)量?jī)x/接觸角測(cè)量?jī)x的算法必須能夠?qū)崿F(xiàn)修正重力影響條件下準(zhǔn)確分辨左、右角度值的能力。水滴角測(cè)量?jī)x或接觸角測(cè)量?jī)x自20世紀(jì)70年代開(kāi)始生產(chǎn)，且實(shí)現(xiàn)了很好的銷(xiāo)售業(yè)績(jī)。

利用水表面張力靈敏度非常高的特性，通過(guò)左、右角度偏差值以及水接觸角的變化范圍，定義材料表面的清潔度，分析等離子清洗（Plasma）效果。

 
 
特別指出的是，如上所述，重力會(huì)影響水滴角的測(cè)量。通常而言，量角器法的水滴角測(cè)量?jī)x或接觸角測(cè)量?jī)x是通過(guò)控制進(jìn)液的精度想達(dá)到實(shí)現(xiàn)或提升重復(fù)性的目標(biāo)，控制的液滴量通常為2uL左右。但是，即使是2uL，此時(shí)仍然存在重力影響，測(cè)值結(jié)果仍然與真正的Young-Laplace方程擬合算法得出的數(shù)據(jù)不一致的。且，通過(guò)而言，除非采用噴射針頭，其他的針頭進(jìn)液方法均需要通過(guò)移液，即將水滴接觸到固體樣品后，利用固體的表面張力將水滴吸下去。正是由于固體表面張力不同，很難確保終滴下的液滴量是*一致的。需要注意的是，沒(méi)有一致的兩個(gè)液滴的，也不能說(shuō)0.1uL誤差就會(huì)導(dǎo)致不受重力影響了。
 
更值得注意的是，測(cè)試水滴角值時(shí)，我們需要利用左、右角度變化以及測(cè)值精度的偏差來(lái)判斷清潔度，兩個(gè)數(shù)據(jù)是綜合起來(lái)運(yùn)用的。因而，通過(guò)滴多個(gè)液滴并評(píng)估水滴角多個(gè)值的變化事實(shí)上已經(jīng)是非常效率低下，準(zhǔn)確度不高的技術(shù)了。