臺(tái)階輪廓測(cè)試儀kia-tencor在半導(dǎo)體的應(yīng)用

儀器簡介：
 

應(yīng)用：
◆薄膜厚度測(cè)量；
◆樣品表面形貌測(cè)量；
◆薄膜應(yīng)力測(cè)量；
◆樣品表面粗糙度/波紋度測(cè)量；
◆樣品表面三維形貌測(cè)量等。

技術(shù)參數(shù)：
 

KLA-Tenco探針式臺(tái)階儀，可測(cè)量納米級(jí)至2毫米臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力，集高測(cè)量精度、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體，是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇。因其具有6.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及分辨率,

主要特點(diǎn)：
 

◆Alpha-Step IQ采用天然金剛石作為探頭，經(jīng)久耐用。探針更換簡便、快速，軟件具有保護(hù)測(cè)針以免發(fā)生損壞功能；
◆探針掃描是雙向的，即可以從左向右，又可以從右向左；
◆無論何時(shí)只要測(cè)針下伸的時(shí)間超過 60 秒，但仍然沒有開始掃描，測(cè)針將自動(dòng)升起；
◆當(dāng)測(cè)針達(dá)到其測(cè)量范圍的上*，測(cè)針自動(dòng)縮回，掃描終止；（備注：當(dāng)測(cè)針達(dá)到其上*，屏幕上的跡線停止上升，而變?yōu)樗剑?br />◆為了安全起見，可以用程序設(shè)置升降器，使其僅可以降低到一個(gè)預(yù)設(shè)的限制；
◆可為用戶提供中文操作界面，可以提供中文操作手冊(cè)；
◆軟件界面友好，簡單易學(xué)，功能大。