接觸角測試儀對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)晶圓的潔凈度測量

更新時間：2021-01-08

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接觸角是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處所作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，接觸角測量是表面性能檢測的主要方法。

PZ-200SD研究型接觸角測量儀是采用光學(xué)成像的原理，設(shè)備采用圖像輪廓分析方式測量樣品表面接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進(jìn)后退角、表面能等性能，設(shè)備采用全自動進(jìn)液裝置，性價比高、拓展性強(qiáng)、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求，目前已經(jīng)使用在眾多高校院所及企業(yè)。

LCD面板行業(yè)：玻璃面板潔凈度與鍍膜質(zhì)量測量；TFT打印電路、彩色濾光片、 ITO導(dǎo)體膠卷等前涂層質(zhì)量測量；半導(dǎo)體，平面顯示器、光學(xué)行業(yè)掩膜親水性測量
印刷、塑料行業(yè)：表面清潔與附著質(zhì)量測量；油墨附著度測量；催化劑測量；膠水膠體性質(zhì)兼容性測量；染料的緊扣度；
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)：晶圓的潔凈度測量；HMDS的處理控制；CMP的研究測量、光阻與顯影劑的研究；
化學(xué)材料研究：防水與親水性能材料研究探討；表面活性與清潔劑的張力、濕性；黏性增強(qiáng)與附著表面能測量；
IC封裝：基質(zhì)表面潔凈度；原子合成氧化識別；BGA焊接表面；環(huán)氧化物的附著度測量；
紙張、紙尿褲、衛(wèi)生護(hù)墊等材料的吸水性以及可印刷性等性質(zhì)分析；
纖維、織物、碳纖維、玻璃纖維與樹脂的新功能開發(fā)、表面性質(zhì)、印染等性質(zhì)分析；
液晶屏、硬盤、屏幕保護(hù)膜、觸摸屏、LCD、LED、光學(xué)零件、半導(dǎo)體芯片、Wafer、微電子等行業(yè)表面清潔度分析；以及質(zhì)量控制、新材料開發(fā)研究以及等離子處理等表面處理效果評估；
聚合物、高分子材料及金屬材料表面修飾、表面改性、印刷性質(zhì)等分析；
薄膜、偏光片、膠片、感光材料的新材料開發(fā)、印刷性等分析；
生物材料、仿生材料的研發(fā)及其應(yīng)用分析，如檢測和表征蛋白質(zhì)、肺表面活性劑、表征生物兼容性材料（高分子材料）的潤濕和粘附性、競爭以及粘附的蛋白質(zhì)。
食品工業(yè)：如人造骨、隱形眼鏡、眼鏡玻璃的潤濕、吸附性質(zhì)分析；
超疏水和超親水材料的研究、可潤濕性分析；
空調(diào)親水鋁箔、絕緣子、巖芯、煤礦、瀝青的潤濕性分析以及新材料的研發(fā)；
電潤濕接觸角轉(zhuǎn)化、電透鏡研究等；
表面活性劑應(yīng)用研究，如化妝品、清潔劑、乳液、石油行業(yè)（三次采油）等；
噴霧、農(nóng)藥、油漆、墨水、油墨和涂料行業(yè)配方設(shè)計(jì)及潤濕性分析；

四·技術(shù)規(guī)格

接觸角主機(jī)
外形尺寸	800mm（長）190mm(寬) 640mm(高)
重量	21KG
電源	220V / 60HZ
光源系統(tǒng)
光源	密集LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級冷光源
壽命	使用壽命達(dá)貳萬伍仟小時以上
注射單元
注射器	配套高精密石英注射器、容量500μL
滴液	軟件控制自動進(jìn)液，精度高達(dá)0.01μL
注射單元移動	上下50mm; 左右50mm
采集系統(tǒng)
CCD	高速工業(yè)級芯片、25幀/S、130W像素
鏡頭	0.7-4.5倍高清工業(yè)級連續(xù)變倍式顯微鏡
采集系統(tǒng)調(diào)節(jié)	前后50mm（3mm微調(diào)）、視角角度可調(diào)（平視、俯視、仰視、360°旋轉(zhuǎn)等多視角觀察）
樣品臺裝置
工作臺面尺寸	160mm*200mm
樣品尺寸	10寸
樣品臺移動	前后移動手動，行程60mm，精度0.1mm 左右移動手動，行程35mm，精度0.1mm 上下移動手動，行程80mm，精度0.1mm
分析軟件
接觸角測量范圍	0-180°
接觸角測量精度	±0.1°
表界面張力測量范圍	0-2000mN/m
表界面張力測量精度	0.01 mN/m
分析軟件功能	1、接觸角測量分析軟件自動擬合法（一鍵自動擬合，不存在人工誤差）包括：圓法擬合、橢圓/斜橢圓擬合法、LY、微分橢圓法/微分圓法 2、動態(tài)接觸角擬合（批量擬合多張圖像）包括：潤濕性能測試（視頻連續(xù)擬合計(jì)算；表面能量計(jì)算；表界面張力測量；前進(jìn)后退角測量粘附

五·符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

1.GB/T 24368-2009(玻璃表面疏水污染物檢測)；

2.SY/T5153-2007（油藏巖石潤濕性測定方法）；

3.ASTM D 724-99（2003）（紙的表面可濕性的試驗(yàn)方法）；

4.ASTM D5946-2004（塑料薄膜與水接觸角度的測量）；

5.ISO15989（塑料薄膜和薄板電暈處理薄膜的水接觸角度的測量）；

六·產(chǎn)品特點(diǎn)（Product features）

主機(jī)采用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計(jì)理念，集成芯片電路控制，采納接觸角設(shè)備的設(shè)計(jì)精華與配置，保證儀器具有穩(wěn)定性；
采用工業(yè)級密集可調(diào)LED冷光源系統(tǒng)（壽命25000H以上），保證成像更清晰，同時避免額外熱度所導(dǎo)致的小液滴揮發(fā)；